dcsimg Sputtering - RÖMPP, Thieme

Sputtering

(Sputtern; von sputter = sprudeln, spritzen). Zerstäubung einer Festkörperoberfläche durch Beschuss mit energiereichen Ionen (z. B. O+ oder Ar+) oder Neutralteilchen (FAB, fast atom bombardement, siehe auch Ionisationsmethoden in der Massenspektrometrie); Ekin = 0,1–20 keV.

Beim Sputtering-Prozess wird die kinetische Energie des Primärteilchens durch Stöße auf die Atome des Festkörpers verteilt. Erreicht ein Ausläufer der hierdurch…


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Letzte Aktualisierung: Juni 2018

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