dcsimg Ionenpumpe - RÖMPP, Thieme

Ionenpumpe

Bearbeitet von: RÖMPP-Autor   

1. In der Vak.-Technik auch als Ionenzerstäuber- oder Ionen-Getter-Pumpen bezeichnete Pumpen, mit denen Hoch- und Ultrahochvak. erreicht wird. In einer Gasentladung werden beschleunigte Elektronen erzeugt, die Gasmol. ionisieren. Die so erzeugten Ionen treffen, durch elektrische und/oder magnetische Felder geführt, auf die Kathode. Dort zerstäuben sie das Kathodenmaterial (oft Titan), das sich als Getterfilm auf die umgebenden…


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Letzte Aktualisierung: März 2002

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