dcsimg dünne Schichten - RÖMPP, Thieme

dünne Schichten

Bearbeitet von: Alfredo Wüst   

Unspezifische Bezeichnung für zusammenhängende Materieschichten, deren – z. B. durch Ellipsometrie meßbare – Dicke von Moleküldurchmesser (monomolekulare Schichten und Membrane) bis etwa 10 μm reicht; Schichten größerer Abmessungen nennt man Filme (Dünnschichtfilme) und Folien.

Herstellung:

Dünne Schichten werden in Hochvakuumapparaturen durch Gasphasenabscheidung (chemical vapor deposition, CVD), durch Aufdampfen oder Sputter…


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Letzte Aktualisierung: Dezember 2007

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