dcsimg ALE - RÖMPP, Thieme

ALE

Bearbeitet von: Claus Klingshirn   

(atomic layer epitaxy). Die ALE ist eine Methode der Gasphasen-Epitaxie, die der Molekularstrahlepitaxie (MBE) sehr ähnlich ist, die es jedoch gestattet, die zu wachsende Schicht atomlagenweise abzuscheiden (siehe auch Atomlagenabscheidung). Wächst man z. B. GaAs, so werden nicht gleichzeitig Ga- und As-Flüsse auf das Substrat gerichtet, sondern abwechselnd. Dabei wird der Prozeß z. B. durch Wahl der Substrattemperatur so geführt,…


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Letzte Aktualisierung: Februar 2005

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